Objeto
Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV
Comunidad y provincia
Comunitat Valenciana. València/Valencia
Clasificadores
Circuitos integrados y microestructuras electrónicas
Financiacion
Asociado al Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia